序號 | 位號 | 說明 | 數(shù)量(臺套) | 備注 |
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210-C-1401 | 第一級真空機組 | 1 套 | |
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220-C-2401 | 第一級真空機組 | 1 套 | |
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210-C-1402 | 第二級真空機組 | 1 套 | |
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220-C-2402 | 第二級真空機組 | 1 套 | |
總計 | 4 套 |
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